傳統(tǒng)成像模式:速度慢，信息量不足

至今，常規(guī)SEM使用二次電子或背散射電子信號(hào)呈現(xiàn)灰白襯度圖，顯示樣品起伏或原子序數(shù)差異的外觀形貌。沒有元素的成像信息，僅據(jù)形貌進(jìn)行感興趣區(qū)域的尋找，往往耗時(shí)耗力。

BEX:集高速及強(qiáng)大于一體

Unity探測(cè)器置于極靴之下，高立體角且具有雙傳感器，同時(shí)快速收集彩色的BEX信號(hào)，甚至可以在較低的束流下實(shí)現(xiàn)快速BEX成像，且對(duì)樣品起伏不敏感，幾乎無陰影效應(yīng)。

基于元素分布的成像模式

Unity探測(cè)器可以快速高效的定位樣品感興趣區(qū)域，瀏覽樣品的過程即是高分辨BEX成像的過程，實(shí)時(shí)呈現(xiàn)出元素的分布情況。瞬息之間，即可對(duì)樣品進(jìn)行較全面的了解，同時(shí)基于AZtec平臺(tái)，可以一鍵切換EDS、WDS或EBSD，進(jìn)行更加深入的分析。

BEX的重要性

BEX成像及全景模式提高檢測(cè)效率豈止百倍，今后相同時(shí)間可以檢測(cè)更多樣品并獲得更多分析結(jié)果,是科研、生產(chǎn)都離不開的有利工具。

傳統(tǒng)工作流程

檢索樣品中的異常區(qū)域通常耗時(shí)耗力且需反復(fù)多次進(jìn)行檢查繁復(fù)枯燥且嚴(yán)重依賴于操作人員的感覺或?qū)悠返氖煜こ潭龋ǔＰ枰啻沃貜?fù)才可以確定所需分析的區(qū)域。由于檢索過程中無法收集數(shù)據(jù)，因此無法保證及時(shí)發(fā)現(xiàn)異常區(qū)域。

BEX工作流程

使用Unity探測(cè)器，分析將更為動(dòng)態(tài)，可獲得更為豐富的數(shù)據(jù)。利用BEX的成像及全景模式不再需要操作人員的主觀猜測(cè)。有了這些存儲(chǔ)的寶貴數(shù)據(jù)，基于嚴(yán)謹(jǐn)分析，可更可靠和嚴(yán)謹(jǐn)?shù)乃阉鳟惓：透信d趣的區(qū)域。

Unity探測(cè)器和BEX系統(tǒng)的主要優(yōu)勢(shì)

l 快速、準(zhǔn)確、強(qiáng)大的全彩色高分辨率成像。

l 同時(shí)顯示/保存形貌和成分?jǐn)?shù)據(jù)，

l 專為日常成像和樣品檢索設(shè)計(jì);

l 可在低真空等常規(guī)操作條件下工作;

l 提高工作效率和分析的準(zhǔn)確性(實(shí)際測(cè)試中效率可提高100倍以上)。