蔡司三坐標測量機的校準需遵循國際標準與設備專屬操作流程，核心圍繞測針校準、幾何精度校準展開，同時把控環境條件、校準周期等關鍵要素，以下是詳細規范內容：
校準前準備規范
環境條件校準：需將環境溫度穩定在 20±0.5℃，相對濕度控制在 45%-65%，避免溫度波動和濕度異常影響校準精度。同時設備需在該環境下穩定運行 24 小時以上，確保達到熱平衡狀態。此外要遠離振動源、強電磁干擾設備，防止外部因素干擾校準數據。
器具與設備檢查：配備經國家計量機構檢定合格的標準球、量塊等器具，且需核對其檢定證書有效性，準確記錄標準球理論直徑等關鍵參數。安裝測針時，需對齊 RDS 旋轉頭與探針吸盤的黑色標記，確保安裝牢固，同時檢查測針、接長桿無變形、磨損，標準球安裝穩固無松動。另外要開機檢查設備操控系統、軟件運行是否正常，無異常報錯后方可開始校準。
核心校準操作規范
測針校準：這是核心校準環節，首先在 Calypso 軟件中新建測量程序，激活溫度補償功能，輸入工件及 X、Y、Z 光柵的實際溫度值。接著安裝主探針并在軟件中選擇對應探針，將標準球固定在 45°、135° 等指定角度位置，通過軟件啟動參考球定位，設定 100% 探測速度后，操控探針至校準球軸向位置探測一點，設備會自動運行校準。單個測針需校準 6 次以上，觀察 S 值需小于 0.0005，且直徑與平時校準值相近、重復性良好；多測針位置校準時，還需檢測各測針測量標準球的球心坐標變化，正常變化范圍應在 1 - 3μm 之間。
幾何精度校準：遵循 ISO10360 - 2 國際標準，選用不同長度的量塊，在設備工作區域不同位置和方向進行長度測量誤差檢測，測量點數不少于 25 個以覆蓋全工作空間。同時連續 20 次測量同一特征計算標準偏差，評估測量重復性；用標準球在不同方向和位置測量，檢測探測系統的一致性，確保幾何精度符合設備技術規格。
校準后驗證與記錄規范
結果驗證：校準完成后，需用校準后的測針復測標準球或量塊，核對數據重復性和一致性。若出現 S 值超標、球心坐標波動過大等情況，需重新檢查測針安裝、標準球位置，必要時重新校準。同時按 JJF1059 規范評定測量不確定度，分析設備、環境等因素帶來的誤差分量。
檔案留存：詳細記錄校準信息，包括校準日期、操作人員、環境參數、標準器具信息、校準數據、不確定度評估結果等。建立完整的校準檔案，確保數據可追溯，且校準記錄需妥善保存，以備后續核查與追溯。
校準周期與后續管理規范
明確校準周期：日常使用中，每兩周需對測針進行一次重新校準；若出現測針碰撞、環境溫度大幅變化等情況，需立即校準。幾何精度校準每年至少進行一次，若設備用于航空航天等高精度需求行業，可縮短周期，同時每年需與外部權威機構進行一次比對驗證。
后續維護管理：校準后的標準器具需定期送檢，建立期間核查制度，監控其穩定性。若校準中發現設備異常，需及時停用檢修，待故障排除后重新校準，合格后方可投入使用。此外，校準人員需具備專業資質，熟練掌握 ISO10360、VDI/VDE2617 等標準，且需定期接受專業培訓。
更新時間：2025-12-15
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